1. 定義與原理，黃金版本v5.68.373
**化學(xué)氣相沉積技術(shù)：從基礎(chǔ)到應(yīng)用全面解析**一、引言化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)，作為現(xiàn)代材料科學(xué)領(lǐng)域的重要工藝，正日益受到科研人員和工業(yè)生產(chǎn)者的關(guān)注，它通過氣態(tài)前驅(qū)體的化學(xué)反應(yīng)，在固體表面形成固態(tài)材料，本文將全面解析化學(xué)氣相沉積的原理、技術(shù)、應(yīng)用及發(fā)展前景，幫助讀者從基礎(chǔ)到深入理解這一技術(shù)，**二...